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乙硅烷是一種無機化合物,化學式為H6Si2,在常溫常壓下為無色透明氣體,具有刺激性氣味。在空氣中自燃,濃度在0.2%以上時燃燒會發出火焰,濃度低于0.2%時,則發生氧化反應生成白色的二氧化硅。與六氟化硫接觸則爆炸。